国家知识产权局信息数据显现，深圳市矩阵多元科技有限公司请求一项名为“一种分块式磁控管及镀膜设备”的专利，公开号CN121748242A，请求日期为2024年9月。
专利摘要显现，本发明供给了一种分块式磁控管及镀膜设备，归于半导体出产设备技能领域，分块式磁控管包含多个磁极以及绝缘结构，相邻的两个所述磁极之间具有榜首距离区，每个所述磁极等分为多个磁块，相邻的两个所述磁块之间具有第二距离区；所述绝缘结构设于所述榜首距离区和所述第二距离区。相邻的两个磁极之间具有榜首距离区，同一个磁极内也分为距离散布的磁块，使用绝缘结构可以进行分隔绝缘，使得各个磁块之间具有十分杰出的绝缘性，当磁控管在高速扫描的时分，因为单个磁块的体积较小，因而只会发生极小的涡旋电流，可以有很大成效防止磁极发生高温，从而防止消磁的状况呈现，能大大的提高靶材的使用率以及靶材上腐蚀区域的均匀性。
天眼查资料显现，深圳市矩阵多元科技有限公司，成立于2016年，坐落深圳市，是一家以从事专业方面技能服务业为主的企业。企业注册资本1548.4786万人民币。经过天眼查大数据分析，深圳市矩阵多元科技有限公司共对外出资了1家企业，参加招投标项目111次，专利信息231条，此外企业还具有行政许可15个。
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